한국나노기술원은 과학기술정보통신부가 시행하는 국가핵심연구기반구축사업의 일환으로 나노소자기술분야에서 원천기술의 연구개발 및 조기산업화를 지원할 수 있는 장비와 시설을 구축하여 운영하고 있습니다. 기술원은 국내 산․학․연의 공동 활용이 가능한 화합물 반도체 중심 비실리콘계 나노소자 분야에 특화된 Fab 시설을 구축하여 일괄 공정 및 연구실에서 개발된 소자의 제작 서비스 및 특성 분석/평가서비스를 제공하고 있으며 차세대 나노소자 및 반도체 분야 연구개발 지원 확대로 나노기술 산업 발전 및 사회적 가치 실현을 위해 최선을 다할 것입니다.

한국나노기술원의 클린룸은 약 1,000평 정도 이며 165대의 반도체 관련 장비를 구축하고 있습니다. 클린룸은 전공정과 후공정 그리고 중소기업들을 위한 임대공간으로 이루어져 있으며, 시험분석실은 지하1층에 위치하고 있습니다. 한국나노기술원은 나노 소자를 기반으로 한 화합물반도체의 공정과 나노기술의 연구개발 지원을 중심으로 공정서비스를 제공 하고 있습니다.