SONOSYS Ultraschallsysteme GmbH는 산업용 첨단 초음파 및 메가소닉(Megasonic) 세정 시스템을 전문으로 하는 독일의 하이테크 기업입니다. 1995년에 설립되어 독일 노이엔뷔르크(Neuenbuerg)에 본사를 둔 이 회사는 400kHz에서 9MHz에 이르는 주파수 대역에서 작동하는 고효율 세정 솔루션을 개발 및 제조합니다. 동사의 기술은 나노미터 단위의 미세 입자와 오염 물질을 제거할 수 있도록 설계되었습니다.
이 회사는 반도체, MEMS(미세전자기계시스템), 마이크로 및 나노 기술, 광학, 태양광 발전, 정밀 제조 등 높은 기술력을 요구하는 산업 분야에 솔루션을 공급하고 있습니다. 특히 SONOSYS는 웨이퍼, 마스크, 미세 구조물 등 민감한 표면을 손상 없이 세정할 수 있는 '나노클린(nanoClean)' 기술 분야에서 독보적인 전문성을 인정받고 있습니다.
SONOSYS는 제너레이터, 트랜스듀서, 노즐 시스템 및 통합 메가소닉 세정 솔루션 등 모든 제품을 자체 기술로 개발합니다. 또한 독일의 우수한 엔지니어링 표준을 바탕으로 지속적인 혁신을 추구하며, 프라운호퍼(Fraunhofer), IMEC, 카를스루에 공과대학(KIT) 등 세계적인 연구 기관들과 긴밀히 협력하고 있습니다.
지난 30여 년간 전 세계에 5,000대 이상의 시스템을 공급해 온 SONOSYS는 고정밀 세정 공정이 필요한 고객들에게 신뢰할 수 있는 기술 파트너로 자리매김했습니다. "함께 실현하는 나노클린(Mastering nanoClean together)"이라는 기업 슬로건은 맞춤형 솔루션, 엔지니어링 지원, 장기적인 파트너십을 중시하는 고객 중심 철학을 잘 보여줍니다.
오늘날 SONOSYS는 메가소닉 세정 기술 분야의 혁신적인 전문 기업으로 평가받고 있으며, 효율적이고 콤팩트하며 미래 지향적인 초음파 시스템을 통해 전 세계 첨단 산업을 지속적으로 지원하고 있습니다.

SONOSYS® has focused on the development of cleaning technologies operating in the high-frequency range from 400 kHz to 9 MHz.
The company’s Megasonic product portfolio includes compact high-performance generators, nozzle systems, transducers, submersible transducers, nebulizers, and complete cleaning modules for semiconductor cleaning. SONOSYS is especially recognized for its Megasonic nozzle technology, which enables highly efficient and damage-free cleaning of sensitive surfaces such as semiconductor wafers, lithography masks, LCD substrates, and micro- and nano-components.
Its single, double, and triple nozzle systems combine different frequencies between 600 kHz and 9 MHz to remove particles down to the nanometer range while maintaining maximum surface protection.
SONOSYS® also provides submersible transducers in standard sizes (4”, 6”, 8” and 12”) as well as customized transducers to meet customer’s needs. Another product in its portfolio are FTF transducers.
In the generator sector the latest innovation consists of a digital generator which offers precise power control and effortless integration into existing control systems using the Modbus protocol. This allows for real-time monitoring, adjustment, and improved process stability.